Trixlorosilan

Trixlorosilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) rangsiz, oʻtkir, boʻgʻuvchi vodorod xlorid hidiga ega, juda uchuvchan suyuqlikdir. 31,8 darajada qaynab, namlik bilan shiddatli reaksiyaga kirishib, fotovoltaik quyosh batareyalari va yarimo‘tkazgichli gofretlar uchun yuqori-soflikdagi polisilikon ishlab chiqarish uchun Siemens jarayoni uchun asosiy xom ashyo hisoblanadi. TCS, shuningdek, silikon epitaksial gofret o'sishi, organosilikon sintezi (silikon moylari, kauchuklar, qatronlar, biriktiruvchi moddalar), CVD kremniy yupqa plyonkali cho'kma va organik sintezda selektiv reduktor sifatida keng qo'llaniladi. Sanoat darajasida (99,0% dan katta yoki unga teng) va elektron navda (9N tozalikgacha) mavjud. O'ta keng portlash diapazoni 1,2%–90,5% bo'lgan suv bilan reaksiyaga kirishuvchi va tez yonuvchan (UN 1295, 4.3+2.3 toifasi, PG I) sifatida tasniflanadi; faqat quruq azotdan himoyalangan qat'iy suvsiz sharoitlarda ishlang.